3D 광학 조도 측정현미경 (GLTech)

# 0.1nm 수직분해능

# 비접촉 광학 측정

# 현미경 타입의 빠른 측정

# 거칠기, 조도, 평탄도 측정

# 간섭계 원리의 3D 현미경

정밀한 3D 계측

# 300 x 300mm 오토스테이지

# 산업용 적합

# 고급형 전자동화

# 대형 샘플 적합

# 핸드 휠 조이스틱 적용

PRO SERIES

# 100 x 100mm 오토스테이지

# 분석실용 적합

# 고급형 전자동화

# 중혈 샘플 적합

# USB 조이스틱 적용

ELITE SERIES

# 50 x 50mm 매뉴얼스테이지

# 대학교, 연구실 전용

# 저예산 보급형

# 소형 샘플

# 손쉬운 매뉴얼 위치 조작

COMPACT SERIES

# 측정 센서 타입의 광학 헤드

# 겐트리 설비에 장착

# 합리적 가격의 모듈 공급

# 인라인 검사에 적합

# H/W S/W 개조 변경등 Customized 지원

PROBE MODULE

# 300mm Wafer EFEM

# 300mm Wafer EFEM

# Display등 대형 스테이지

# Full Auto 지원

# SECS/GEM

MASTER SERIES