박막두께측정기 (ThetaMetrisis)

FR-모니터

그림 1. FR-Monitor의 전체 모습.

 

설명

FR-Monitor(그림 1)는 ThetaMetrisis에서 개발한 소프트웨어로 모든 FR 시리즈 도구를 지원합니다. Visual C++로 구현되었으며 Windows 운영체제(Windows XP/Vista/ 7 32/64bit)에 적합합니다.
FR-Monitor는 분광계, 광원, 온도 컨트롤러, 습도 센서 등과 같은 지원 전자 모듈과 같은 모든 FR 도구 하위 시스템을 완전히 제어하기 위한 일반 소프트웨어 플랫폼으로 설계되었습니다. FR-Monitor는 다음  과 같은 다양한 작동 모드를 지원합니다.  측정 스펙트럼), 
Scope-Dark  (원시 측정에서 어두운 스펙트럼을 뺀 값),  흡광 모드 , 투과 모드 , 반사 모드 . 
모든 모드에서 다음 작업이 지원됩니다. a) 스펙트럼 기록, b) 특정 파장 모니터링, c) 스펙트럼의 특정 부분 통합.

FR-Monitor 에는 투명 또는 반흡수 필름(단층 또는 다층)의 정확한 실시간 특성화(두께 및 광학 상수 모두)를 위한 백색광 반사 분광법(WLRS) 최첨단 알고리즘(ThetaMetrisis TM )이 포함되어 있습니다. 필름) 및 용해, 열처리, 주변 변화 등과 같은 조건의 동적 변화 동안 필름의 변화를 기록합니다. 재료의 광학 특성(굴절률 n 및 흡광 계수 k, 그림 2a,b)의 확장된 데이터베이스가 함께 제공됩니다. 사용자는 사용자 지정 재료의 속성으로 데이터베이스를 쉽게 확장할 수 있습니다.

그림 2a.  재료 데이터베이스, 굴절률 n

 

그림 2b.  재료 데이터베이스, 흡광 계수 k

 

그림 3.  FR-Monitor ver.1.3 풀다운 메뉴와 버튼 바. 버튼 막대 설명(왼쪽에서 오른쪽으로): 재료 데이터베이스, 구성 // 실시간 보기, 맞춤(모드) 보기, 결과 보기(실시간 처리) // 오프라인 및 실시간 버튼 팔레트, 일시 중지/중지, 뒤로 첫 번째 스펙트럼으로, 한 스펙트럼 뒤로, 한 스펙트럼 앞으로, 마지막 스펙트럼으로 앞으로, 스펙트럼 기록 // 줌+, 줌-, 왼쪽으로 팬, 오른쪽으로 팬 // 참조 스펙트럼 캡처, 어두운 스펙트럼 캡처 // 스코프 모드, 스코프 - 다크 모드, 흡광도 모드, 투과율 모드, 반사율 모드, 0-100% 또는 0-1 스케일(투과율 및 반사율 모드의 경우) // 램프 셔터 열기/닫기.

결과 보기(그림 4b)에서 다양한 측정 매개변수(그림 4a)를 실시간으로 계산/모니터링할 수 있으며 획득한 스펙트럼을 원하는 속도로 저장할 수 있습니다.

그림 4a.  다양한 계산/측정 매개변수를 결과 보기에 추가할 수 있습니다.

 

그림 4b. 시간 대비 SiO 2 필름  의 두께 변화를 실시간으로 계산하기 위한 결과 보기 화면  . 수직 눈금은 나노미터(nm) 단위입니다.

 

 

 

모든 작동 모드에서 획득한 데이터/계산된 매개변수를 실시간으로 수행하여  용해, 열처리, 주변 변화, 생체 반응 등과 같이 동적으로 변화하는 조건을 모니터링할 수 있습니다. 다양한 매개변수를 사용할 수 있는 실시간 처리를 제외하고 실시간으로 획득/계산되는 전체 실험을 기록할 수 있는 기록 기능이 지원됩니다(기록 로그 추가 포함). 기록된 데이터의 분석은 나중에 수행할 수 있습니다. 오프라인 처리에서는 모든 FR-Monitor 기능(위에서 설명한 결과 보기 모드 포함)을 사용할 수 있습니다.

마지막으로 FR-Monitor 지원은 온도 제어 및 측정(예: FR-Thermal에서), 습도, 가스 주입구 등과 같은 FR-Basic 도구에서 모든 특수 하드웨어 모듈을 구현할 수 있습니다.

 

3년의 무료 소프트웨어 업그레이드 기간은 모든 FR 도구 구입에 포함됩니다.

 

FR-Monitor 소프트웨어 업데이트(v. 1.5)

 

  • 확장된 재료 목록

  • 모든 필름 스택의 반사 예측을 위한 이론적 관점 § 필름 두께 측정을 위한 더 빠른 알고리즘

  • 이미지에 저장 옵션

  • 사용자 지정 설치 파일

  • 지속적인 맞춤 문제가 수정되었습니다.

  • 피팅 진행률 표시줄이 추가되었습니다.

  • ATI 그래픽 카드와의 호환성 문제 해결

 

 

FR-Monitor 소프트웨어 업데이트(v. 2.0)

  • 피팅에 필요한 CPU 시간이 거의 10배 감소했습니다.

  • 참조 스펙트럼 획득 절차가 수정되었으며 알루미늄 및 실리콘 기판을 사용할 가능성이 추가되었습니다.

  • 보다 사용자 친화적인 방식으로 레이어 스택에서 탐색

  • 32비트 및 64비트 Windows 운영 체제가 모두 지원됩니다.

  • 새로운 형식(ex2)은 이전 FR-Monitor 버전의 exp 형식을 대체합니다. 모든 오래된 *.exp 파일은 FR-Monitor v2.0에서 제공되는 변환 유틸리티를 통해 사용할 수 있습니다.

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